Station and method for measuring airbone molecular contamination
WO2021198107
Art A1
7. Oktober 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021198107
- Aktenzeichen
- EP21714882
- Anmeldetag
- 26. März 2021
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N1/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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