Valve system, diaphragm valve output monitoring method and output adjustment method, and semiconductor manufacturing device

WO2021199836 Art A1 7. Oktober 2021

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021199836
Aktenzeichen: EP21779488
Anmeldetag: 1. März 2021
Veröffentlichung: 7. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F16K7/16F16K31/02F16K37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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