Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern formation method, photomask, electronic device manufacturing method, and compound
WO2021200178
Art A1
7. Oktober 2021
Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021200178
- Aktenzeichen
- EP21779361
- Anmeldetag
- 17. März 2021
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07C309/58C07C311/29C07C311/51C07D309/12C07D333/34C07D333/38C09K3/00G03F7/004G03F7/039G03F7/20C07D275/06C07D307/00C07D307/82
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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