Magnetron plasma film-forming device

WO2021200635 Art A1 7. Oktober 2021

Anmelder: NITTO DENKO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021200635
Aktenzeichen: EP21781622
Anmeldetag: 26. März 2021
Veröffentlichung: 7. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/35H01L21/3205H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NITTO DENKO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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