Magnetic structure in semiconductor device, and semiconductor device

WO2021204012 Art A1 14. Oktober 2021

Anmelder: BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021204012
Aktenzeichen
EP21784870
Anmeldetag
30. März 2021
Veröffentlichung
14. Oktober 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/35C23C14/54C23C14/16H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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