Systems and methods for signal electron detection

WO2021204639 Art A1 14. Oktober 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021204639
Aktenzeichen: EP21716679
Anmeldetag: 1. April 2021
Veröffentlichung: 14. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/115H01L31/105H01J49/00H01J43/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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