Lighting optical system and substrate inspecting device

WO2021205650 Art A1 14. Oktober 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021205650
Aktenzeichen: EP20929862
Anmeldetag: 10. April 2020
Veröffentlichung: 14. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B19/00G01N21/84G01N21/956G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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