Mems actuator, mems actuator drive method, and mems actuator control program

WO2021205715 Art A1 14. Oktober 2021

Anmelder: HAMAMATSU PHOTONICS K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021205715
Aktenzeichen
EP21784720
Anmeldetag
27. Januar 2021
Veröffentlichung
14. Oktober 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B81B3/00G02B26/08G02B26/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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