Pattern-forming device and pattern-forming method

WO2021206044 Art A1 14. Oktober 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021206044
Aktenzeichen: EP21784530
Anmeldetag: 5. April 2021
Veröffentlichung: 14. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20G03F7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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