Method for manufacturing two-dimensional material having vertically aligned nanopatterns

WO2021206261 Art A1 14. Oktober 2021

Anmelder: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021206261
Aktenzeichen: EP20929706
Anmeldetag: 27. November 2020
Veröffentlichung: 14. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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