Online navigational drift correction for metrology measurements
WO2021207041
Art A1
14. Oktober 2021
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021207041
- Aktenzeichen
- EP21784219
- Anmeldetag
- 4. April 2021
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06T7/70G06K9/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.