Machine gas path flow adjustment system and method

WO2021208635 Art A1 21. Oktober 2021

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021208635
Aktenzeichen
EP21788377
Anmeldetag
8. März 2021
Veröffentlichung
21. Oktober 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G05D7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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