Contaminant analyzing metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof

WO2021209273 Art A1 21. Oktober 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V., ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021209273
Aktenzeichen: EP21719862
Anmeldetag: 1. April 2021
Veröffentlichung: 21. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/25G01N21/47G01N21/94G01N21/956G03F1/84G03F7/20G01N21/88G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML HOLDING N.V.
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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