Method of cleaning substrate

WO2021210599 Art A1 21. Oktober 2021

Anmelder: KAO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021210599
Aktenzeichen: EP21788362
Anmeldetag: 14. April 2021
Veröffentlichung: 21. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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