Apparatus, systems, and methods of measuring edge ring distance for thermal processing chambers

WO2021211214 Art A1 21. Oktober 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021211214
Aktenzeichen: EP21787581
Anmeldetag: 25. Februar 2021
Veröffentlichung: 21. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F27B7/08F27B7/14F27B7/22G01B7/02B25J9/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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