Laser-sustained plasma light source with gas vortex flow

WO2021211478 Art A1 21. Oktober 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021211478
Aktenzeichen
EP21787597
Anmeldetag
13. April 2021
Veröffentlichung
21. Oktober 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01J61/28H01J65/04H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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