Actuator Unit For Positioning an Optical Element

WO2021213745 Art A1 28. Oktober 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021213745
Aktenzeichen: EP21712832
Anmeldetag: 19. März 2021
Veröffentlichung: 28. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/00G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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