Charged particle gun and charged particle beam system

WO2021214953 Art A1 28. Oktober 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021214953
Aktenzeichen: EP20931714
Anmeldetag: 23. April 2020
Veröffentlichung: 28. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J3/02H01J1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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