Control method, program, and control device

WO2021215010 Art A1 28. Oktober 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021215010
Aktenzeichen
EP20932328
Anmeldetag
24. April 2020
Veröffentlichung
28. Oktober 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02B21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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