Mirror mounting member, position measurement mirror using same, exposure device, and charged particle beam device

WO2021215518 Art A1 28. Oktober 2021

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021215518
Aktenzeichen: EP21792732
Anmeldetag: 22. April 2021
Veröffentlichung: 28. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/08H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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