Piezoelectric thin film and methods of fabrication thereof
Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE, AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021216000
- Aktenzeichen
- EP21791829
- Anmeldetag
- 16. April 2021
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C01G33/00H01L41/187H01L41/09H01L41/316
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH - Land
- 🇸🇬 Singapur
Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.
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Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.
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Vertreten von
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