Metrology methods and optical schemes for measurement of misregistration by using hatched target designs

WO2021216796 Art A1 28. Oktober 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021216796
Aktenzeichen: EP21793684
Anmeldetag: 22. April 2021
Veröffentlichung: 28. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01N21/88G01N21/95G01B11/25G06T7/00G06T7/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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