Primary vacuum pump and installation

WO2021219307 Art A1 4. November 2021

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021219307
Aktenzeichen
EP21714881
Anmeldetag
26. März 2021
Veröffentlichung
4. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F04C25/02F04C29/06F01C21/10F04C23/00F04C29/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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