Radiation analysis system, charged particle beam system, and radiation analysis method

WO2021220458 Art A1 4. November 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021220458
Aktenzeichen: EP20934149
Anmeldetag: 30. April 2020
Veröffentlichung: 4. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/26H01J37/244G01N23/2252

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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