Target design process for overlay targets intended for multi-signal measurements
WO2021221913
Art A1
4. November 2021
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021221913
- Aktenzeichen
- EP21795826
- Anmeldetag
- 14. April 2021
- Veröffentlichung
- 4. November 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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