Training A Machine Learning Model To Generate Higher Resolution Images From Inspection Images

WO2021222152 Art A1 4. November 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021222152
Aktenzeichen
EP21797510
Anmeldetag
27. April 2021
Veröffentlichung
4. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G06N20/00G06T3/40G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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