Transport system for moving a device in a vacuum processing system, substrate processing system comprising the same, and method of operating a transport system

WO2021223840 Art A1 11. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021223840
Aktenzeichen: EP20724448
Anmeldetag: 4. Mai 2020
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50C23C14/54C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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