Apparatuses and methods for transporting a device in a vacuum processing system

WO2021223843 Art A1 11. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021223843
Aktenzeichen: EP20724450
Anmeldetag: 4. Mai 2020
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677C23C14/50C23C14/56C23C16/44C23C16/458C23C16/54H02K5/12H02K5/128H02K21/00H02K41/03F16C32/04H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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