Contamination shield for mechanically insulating device

WO2021223953 Art A1 11. November 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021223953
Aktenzeichen: EP21718536
Anmeldetag: 8. April 2021
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00F16L27/111F16L51/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik

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