Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion der Oberfläche eines Spiegels

WO2021223956 Art A1 11. November 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021223956
Aktenzeichen: EP21720404
Anmeldetag: 8. April 2021
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/00G01B11/30G01B21/30G01M11/02G01N21/88G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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