Methods and apparatus for diagnosing unobserved operational parameters

WO2021223958 Art A1 11. November 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021223958
Aktenzeichen: EP21717860
Anmeldetag: 9. April 2021
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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