Verfahren zum Betreiben eines Deformierbaren Spiegels, sowie Optisches System mit einem Deformierbaren Spiegel

WO2021224036 Art A1 11. November 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021224036
Aktenzeichen: EP21725042
Anmeldetag: 23. April 2021
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/00G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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