Mikromechanischer Strahlungsdetektor, Mikromechanisches Spektrometer und Verfahren zur Strahlungsmessung

WO2021224213 Art A1 11. November 2021

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021224213
Aktenzeichen: EP21724594
Anmeldetag: 4. Mai 2021
Veröffentlichung: 11. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/60B81B3/00G01J3/26G01J5/08G01N21/3504H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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