Surface grinding method

WO2021225020 Art A1 11. November 2021

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021225020
Aktenzeichen
EP21800548
Anmeldetag
25. Februar 2021
Veröffentlichung
11. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B24B7/00B24B1/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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