Print Check Repeater Defect Detection

WO2021225999 Art A1 11. November 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021225999
Aktenzeichen
EP21799585
Anmeldetag
4. Mai 2021
Veröffentlichung
11. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G03F1/84G01N21/956G01N21/95G01N21/88G06K9/62G06T5/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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