Carrier for a roller transport system, roller transport system, and vacuum processing apparatus

WO2021228387 Art A1 18. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021228387
Aktenzeichen: EP20726073
Anmeldetag: 13. Mai 2020
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/56C23C16/04C23C16/458C23C16/54C23C14/50H01L21/677B65D19/00B65D81/02B65G13/00B65G54/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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