Carrier for a roller transport system, roller transport system and vacuum processing apparatus having the same

WO2021228389 Art A1 18. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021228389
Aktenzeichen: EP20726074
Anmeldetag: 13. Mai 2020
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/50C23C14/56C23C16/04C23C16/458C23C16/54H01L21/677B65D19/00B65G13/00B65G54/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von