Carrier transport system, a carrier for a substrate, vacuum processing apparatus, and method of transportation of a carrier in a vacuum chamber

WO2021228390 Art A1 18. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021228390
Aktenzeichen: EP20726075
Anmeldetag: 13. Mai 2020
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50C23C14/56C23C16/54C23C16/04C23C14/04B65G49/07C03B35/00H01L21/677B65G49/06H01J37/32C23C16/44C23C16/458H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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