Device and method for monitoring a deposit of reaction by-products for the discharge of a vacuum pump
WO2021228490
Art A1
18. November 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021228490
- Aktenzeichen
- EP21718888
- Anmeldetag
- 16. April 2021
- Veröffentlichung
- 18. November 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D29/70F04D29/58F04C18/12F04C28/28G01F1/684G01F1/698G01B21/08G01B13/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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