Verfahren zum Interferometrischen Vermessen einer Form einer Oberfläche

WO2021228723 Art A1 18. November 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021228723
Aktenzeichen: EP21726071
Anmeldetag: 7. Mai 2021
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B11/24G01M11/00G01M11/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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