Processing method and processing device for glass substrates, and production method for euvl mask blanks

WO2021229968 Art A1 18. November 2021

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021229968
Aktenzeichen: EP21803382
Anmeldetag: 9. April 2021
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C03C17/36C03C23/00G03F1/24G03F1/60G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

Vertreten von