Compound, production method therefor, composition, resist film, and pattern formation method

WO2021230185 Art A1 18. November 2021

Anmelder: THE SCHOOL CORPORATION KANSAI UNIVERSITY, MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021230185
Aktenzeichen
EP21804190
Anmeldetag
10. Mai 2021
Veröffentlichung
18. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C07D323/00C08G16/04C08L33/06G03F7/004G03F7/039G03F7/11G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
THE SCHOOL CORPORATION KANSAI UNIVERSITY
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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