Compound, (co)polymer, composition, resist pattern forming method, method for producing compound, and method for producing (co)polymer

WO2021230300 Art A1 18. November 2021

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021230300
Aktenzeichen
EP21805016
Anmeldetag
12. Mai 2021
Veröffentlichung
18. November 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C08F20/26C07C69/653C08F8/12G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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