Evaporation source, evaporation system, and method of monitoring material deposition on a substrate

WO2021230859 Art A1 18. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021230859
Aktenzeichen: EP20935111
Anmeldetag: 12. Mai 2020
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C14/24H01L51/00H01L51/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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