Method of tuning film properties of metal nitride using plasma

WO2021231046 Art A1 18. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021231046
Aktenzeichen: EP21803477
Anmeldetag: 20. April 2021
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/285H01L21/3205H01L21/321C23C16/04C23C16/34C23C16/455C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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