Controlled degradation of a stimuli-responsive polymer film

WO2021231307 Art A1 18. November 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021231307
Aktenzeichen: EP21804957
Anmeldetag: 10. Mai 2021
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/02C08L61/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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