Technique for training neural network for use in in-situ monitoring during polishing and polishing system

WO2021231427 Art A1 18. November 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021231427
Aktenzeichen: EP21804866
Anmeldetag: 11. Mai 2021
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/10B24B49/02B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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