Storage and delivery of antimony-containing materials to an ion implanter

WO2021232036 Art A1 18. November 2021

Anmelder: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021232036
Aktenzeichen: EP21728406
Anmeldetag: 4. Mai 2021
Veröffentlichung: 18. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B01D19/00H01J37/08H01J37/317H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Praxair Technology

US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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