Magnet assembly, coil assembly, planar motor, positioning device and lithographic apparatus

WO2021233615 Art A1 25. November 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021233615
Aktenzeichen: EP21719140
Anmeldetag: 18. April 2021
Veröffentlichung: 25. November 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03G03F7/20H02K55/00H01F6/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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