Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops
WO2021234035
Art A2
25. November 2021
Anmelder: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021234035
- Aktenzeichen
- EP21726653
- Anmeldetag
- 19. Mai 2021
- Veröffentlichung
- 25. November 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/21H01J37/147H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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